清华大学教授一人创办两公司 都拟上科创板 还是半导体尖端技术

来源：上海证券报

这是一个知识造富的股权时代。

近日，由清华大学机械工程系长聘教授朱煜博士一人参与创办的两家公司都在申报科创板IPO：一家是由他实际控制的北京华卓精科科技股份有限公司（简称“华卓精科”），另一家是由他联合创建、目前归属清华大学的华海清科股份有限公司（简称“华海清科”）。

从成立背景来看，两家公司都属于清华大学的科研成果转化项目。更厉害的是，两家公司都处于当前热门的半导体领域，相关技术和产品打破了国际巨头的垄断，填补了国内空白。

其中，华海清科的科创板上市申请刚于10月15日获上交所受理：

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据披露，华海清科是目前国内唯一12英寸化学机械抛光（CMP）设备制造商，由公司生产的CMP设备已应用于中芯国际、英特尔等国内外IC制造商产线，其主流机型不仅填补了国内空白，同时打破了国际巨头在此领域数十年的垄断，公司拟上市募资10亿元。

华卓精科此前曾在新三板挂牌，其科创板上市申请于今年6月24日获受理，目前因更新财报处于中止审核状态：

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华卓精科是中国唯一、全球“唯二”的光刻机双工件台生产企业，此前曾经挂牌新三板，被誉为“光刻机第一股”，公司拟上市募资10.35亿元。

“人生赢家”朱煜教授

资料显示，朱煜，男，1965年1月出生，2001年毕业于中国矿业大学，博士学历，2004年起在清华大学任教。

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照片中间为朱煜教授

目前，朱煜是清华大学机械工程系长聘教授、博导、机械电子工程研究所所长和科技部首批重点领域“超精密机械与测控创新团队”负责人；他还担任国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项实施方案编制专家组和总体专家组副组长、技术副总师，装备组、光刻机组组长，光刻设备产业技术创新战略联盟专家委员会副主任，深度参与和领导了国产光刻机及其核心部件的研发和产业化。

朱煜教授曾先后获得 2015年国家专利优秀奖、2018年国家专利银奖、2018年北京市科学技术奖一等奖等多项荣誉；截至目前，发明了境内授权专利共计188余项，其中发明专利161项；发明了美国授权专利25项；发表论文200余篇；出版专著2本。

华海清科：清华大学“送子”科创板

华海清科成立时，朱煜与路新春、雒建斌三位作为化学机械抛光技术的成果完成人，以知识产权出资入股。

华海清科成立于2013年4月，依据清华大学出具的《清华大学关于同意化学机械抛光项目产业化组建方案的批复》（清校复[2014]5号），同意将30项化学机械抛光核心技术以知识产权出资入股的方式组建天津华海清科机电科技有限公司，并将清华方持有的股权40%按照如下比例奖励给3位主要成果完成人：路新春34.125%、雒建斌31.875%、朱煜34.000%；上述股权由持股平台康茂怡然代持。

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此后，原属于清华大学无形资产组的CMP技术（包含24项专利技术和6项已提交专利申请的专有技术）评估价值为3060万元，专利权由清华大学变更到华海清科有限名下。2016年11月，路新春、朱煜、雒建斌三人与康茂怡然签署了《解除股权代持协议》，由此变为三人直接持股。

在最新持股结构中，朱煜持有华海清科398.5339万股，占总股本的4.9817%。华海清科目前控股股东为清控创业投资有限公司（简称“清控创投”），持股比例为37.584%，清华控股持有清控创投100%的股权，实际控制人为清华大学。

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华卓精科：推动光刻机及其部件国产化

而在华卓精科，朱煜教授则不是参股股东了，朱煜直接持股35.72%，实际控制的股份比例合计为54.23%，为公司实际控制人及首席科学家。

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光刻机，是集成电路领域关键设备，是国家高科技战略必争之地；而作为光刻机两大核心子系统之一的双工件台，其制造也是世界级的难题。华卓精科是世界上继荷兰ASML之后，第二家掌握高端光刻机双工件台核心技术的企业，是全球光刻机双工件台唯一供应商，打破了国外公司在该领域的垄断和技术封锁，填补了国内该领域空白。公司也是国产高端光刻机龙头企业上海微电子的双工件台产品及技术开发的供应商。

从2001年开始，朱煜一边从事光刻机同步试验台项目的研发工作，一边抓紧光刻机工件台技术发展战略的研究。

“我第一次看到的双工件台是ASML的一段展示视频”，初睹双工件台，即使只是视频，朱煜也被深深震撼了。“我下意识地对自己说，这就是我想要做的，中国必须掌握这样的尖端技术！”

据悉，华卓精科是第六批清华科技园“钻石计划”企业。2012年5月9日，华卓精科的前身华卓有限成立，公司由信汇科技出资640万元、华卓精密出资350万元、徐登峰出资10万元，合计出资1000万元设立。

2012年4月23日，北京清华工业开发研究院与朱煜签署《北京华卓精科科技有限公司股东协议》，约定清华大学通过其产业化平台北京清华工业开发研究院成立的投资基金（即水木启程），与清华大学机械工程系 IC 制造装备研究室核心团队人员朱煜、徐登峰、张鸣、杨开明、尹文生、胡金春、穆海华、成荣以自然人身份成立的两家公司（即华卓精密及艾西精创）共同设立华卓有限。

华卓有限设立时的注册资本为1000万元，其中水木启程出资400万元，华卓精密出资 350 万元，艾西精创出资250万元。由于水木启程尚未完成设立，北京清华工业开发研究院委托信汇科技阶段性代持股权。

2015年12月11日，公司在股转系统挂牌，证券简称“华卓精科”，证券代码“834733”； 2019 年2 月13日，公司终止在股转系统挂牌。

资料显示，在光刻机双工件台领域，华卓精科与国内的光刻机龙头厂商上海微电子保持良好的合作关系，并成为其光刻机双工件台的供应商，共同进行光刻机及其部件国产化的技术攻关；

在晶圆级键合设备领域，公司与上海集成开展密切合作，积极推动该设备的规模化生产，长期为其提供全方位的技术支持；

在激光退火设备领域，公司已与燕东微电子、芯恩集成、泰科天润等客户建立密切的联系，并根据不同客户的需求提供定制化的产品方案；

在精密运动系统领域，公司的产品进入了中科飞测、中山新诺、长光华大等各个领域龙头企业的供应链，同时为中科大、南京大学、暨南大学等多所高校和科研机构提供产品和技术服务，凭借纳米级的定位精度，公司的产品性能得到了客户的一致认可。

值得一提的是，在两公司是否涉及同业竞争方面，华卓精科表示，公司的控股股东、实际控制人朱煜投资参股华海清科，持股比例为4.98%，不构成控制。并且，华海清科自设立至今主要从事化学机械抛光设备的研发、生产、销售，主要产品为12寸的半导体集成电路抛光设备、蓝宝石抛光设备等，与华卓精科不从事相同或近似的业务，不存在任何直接或间接的竞争。

责任编辑：陈修龙