至纯科技国家队基金拟9亿战投助力国产替代

长江商报消息●长江商报记者李顺今年，至纯科技半导体湿法清洗设备交付能力开始增强。至纯科技官方微信公众号发布的消息显示，6月19日，随着交付给华虹集团ICRD有着特殊清洗要求的300MM单片式湿法设备搬入，2020年上半年，至纯旗下至微科技的单片清洗和槽式湿法设备在二季度出机超过了十台。而去年全年完成近20台设备装机，交付速度明显加快。