中科院苏州纳米所5nm激光光刻研究获进展

（文/观察者网一鸣）据中科院官网报道，近日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员张子旸与国家纳米中心研究员刘前合作，在NanoLetters上发表了题为5nmNanogapElectrodesandArraysbyaSuper-resolutionLaserLithography的研究论文，报道了一种新型5nm超高精度激光光刻加工方法。{image=1}