南大光电：光刻胶开发和产业化项目预计需要较长时间
新浪财经2020-05-27 19:39:080阅
新浪财经讯5月27日消息，南大光电公告，公司承接的国家“02专项”之“ArF光刻胶产品的开发和产业化项目”的基础建设按计划进行；2019年底完成一条生产线的安装，正在调试阶段。2020年4月，公司采购的用于检测ArF（193nm）光刻胶产品性能的光刻机运入宁波南大光电工厂，5月开始进行安装调试，预计安装调试需要4-5个月的时间。公司制备ArF（193nm）光刻胶用的高纯原材料来源于自主研发，研制出的ArF（193nm）光刻胶样品正在供客户测试。目前“ArF光刻胶开发和产业化项目”正处于光刻胶样品验证阶段，验证过程预计需要12-18个月，甚至更长的时间。
责任编辑：王帅
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