机器人拟募资18亿新建半导体设备及系统项目

长江商报消息 ●长江商报记者 李顺

作为第一家国产机器人实现出口的企业，机器人一直在工业自动化、数字化上承担着引领国产自动化设备及系统创新的角色。

8月19日，机器人公布拟募资18.03亿元主要用于建设半导体领域半导体设备及自动化项目，作为国内唯一一家真空机械手的供应商，去年机器人真空机械手已批量应用于北方华创、中科院微电子研究所等企业和机构，有望在国内全面推广。

机器人2009年上市，通过融资不断扩大工业机器人、特种机器人、高端 装备、数字化工厂等领域产业规模，此次募资将以自身自动化设备优势来实现半导体国产化的替代。

拟募资18亿新建半导体设备

机器人此次拟向特定对象发行股票的募集资金总额不超过18.03亿元用于IC真空机械手及集束型设备项目、半导体自动物料搬运系统项目、半导体物料管理控制系统项目以及补充流动资金。

此前机器人已研制了系列化洁净真空机器人产品，包括大气机械手系列产品（洁净度达到 Class1）、集成电路装备真空机械手系列产品（真空度达到最高 1×10-6 Pa）。真空直驱机器人打破国外垄断，可以实现直接替代；自动物料搬运系统（AMHS）系统设备主要包括洁净存储系统（Stocker）、 洁净轨道系统、空中无人搬运车（OHT）等，公示可以为半导体工厂提供整套自动物料搬运系统；而公司承接的广州超视堺Mask搬送系统项目，其中也包含ACS系统（类似MCS的系统，规模要比MCS系统规模小）的子订单，具有先天优势。

上述三个项目建成后，年预计可实现年均营业收入约10.05亿元、11.90亿元、1.8亿元，合计达到23.75亿元。而去年公司全年营收27.45亿元，此次扩产项目若达成目标将增加营收85%。

机器人将半导体装备业务确定为三大业务板块之一，2018年5月，公司集中整合资源成立半导体装备事业部，完善在集成电路设备自动化与自动物料搬运系统（AMHS）产业的布局，洁净真空机器人、洁净自动化装备、自动物料搬运系统（AMHS）是公司自主研发的面向集成电路行业高端的成套装备，半导体物料管理控制系统（MCS）产业化是公司拓展的新业务。

目前机器人研发的真空机械手已批量应用于北方华创、中科院微电子研究所等企业。集束型设备行业应用涵盖半导体 CMP 清洗设备、半导体刻蚀设备、半导体涂胶设备等，且实现小批量示范应用；半导体自动搬运系统（AMHS）已经实现在上海集成电路研发中心生产线上的应用，并成功应用于Sandisk、赛意法等半导体芯片加工厂，面向面板制造厂开发的掩模版自动物料搬运系统，已经在华星光电T1、T7工厂及夏普广州厂实现成熟应用。

2012年以来，国内半导体设备需求迅猛增长，中国是全球第二大半导体设备市场，2018年达到131.10亿美元，但国产设备自给率很低，仅为13%左右。未来即便核心半导体设备依然依靠进口，半导体设备国产化空间仍然巨大。并且半导体工厂自动化对工厂的稼动率非常重要，全球该市场的年采购额在20亿美金左右，由于国外对中国半导体产业的封锁，国内半导体产业对于自动物料搬运系统（AMHS）需求迫切。

而机器人是国内唯一一家真空机械手的供应商，而公司自主研发的面向半导体行业的高端装备自动物料搬运系统（AMHS）已经形成了独立产品线，可以逐步实现国产化替代。

大力研发实现半导体领域多项突破

机器人从事的主要业务为机器人及数字化工厂解决方案，主营业务包括机器人业务、数字化工厂业务、工业软件与控制平台、半导体装备业务。

近年来机器人连续承担国家863重点项目、十二五智能制造发展专项项目、十二五国家科技支撑计划课题、十三五国家重点研发计划、科技部02专项项目、工信部研发项目、发改委研发项目等。

仅去年机器人研发投入4.58亿元，同比增长134.91%，占到了营收16.67%，截至2019年底，公司合计拥有109项软件著作权和有效专利377项，其中发明专利193件，实用新型专利103件。

去年机器人在半导体领域实现了多项突破。去年真空机械手产品需求增加，公司洁净机器人系列产品持续批量销售，抢占国内市场的主要份额，公司EFEM部分型号产品已获得批量订单，标志公司在高端半导体刻蚀机及其工艺 技术领域开始实现国产化批量供应。公司8寸和12寸真空平台已经交付客户进行验证；凭借自主研制的国内首套柔性OLED洁净机器人成功进入高端柔性屏幕生产线，且于年底前完成首台交付。

去年机器人物流与仓储自动化成套装备、工业机器人营收分别为10.60亿元、9.72亿元，分别同比增长9.28%、3.92%，不过由于自动化装配与检测生产线及系统集成有所下滑，公司营收下降了11.29%。

根据中投产业研究院发布的《2020-2024 年中国机器人产业投资分析及前景预测报告》显示，2019年度全国工业机器人累计产量为18.69万套，同比降低了6.1%。而2019年上半年自主品牌工业机器人累计销售1.9万台，同比下降13.6%。

机器人作为目前国内唯一批量生产洁净机器人及自动化设备的供应商，在国内半导体自动化领域有研发优势，在目前半导体国产化进程中，公司产品或有望在国内全面推广。

责任编辑：马秋菊 SF186