至少13台

据国外媒体报道，在5nm、6nm工艺大规模投产、第二代5nm工艺即将投产的情况下，芯片代工商台积电对极紫外光刻机的需求也明显增加。而外媒最新援引产业链消息人士的报道称，台积电已向阿斯麦下达了2021的极紫外光刻机订单，至少有13台。责任编辑：薛永玮