组团成长

沈阳半导体装备产业成立技术创新联盟——优势互补组团成长（新征程新期待）双臂，四指，真空机械手有节奏地伸缩旋转。“伸缩动作3.2秒，旋转90度1.5秒，旋转180度2.2秒……”沈阳新松机器人股份有限公司半导体事业部工程师，正在实验室跟踪数据、调试产品。“这是新松第一次对外提供双臂真空机械手。”公司事业部副总裁杨奇峰介绍，这个产品专为沈阳拓荆科技有限公司的半导体薄膜设备开发。